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压力传感器的新突破效果
日前的压力传感器是将一个稳定的膜片与易传感的硅纳米线结合在一起运作使用的,从而更加稳定耐用。
通过蚀刻氮化硅和变化厚度、调整硅纳米线,压力传感器可以提供电输出的线性变化,符合高精度的医疗器械应用要求;同时满足了抵抗变形和机械损坏。
但由于这个隔膜必须将很小的压力变化传到电阻器上,同时要抵抗变形和破损。因此,压力传感器的隔膜材料选择就显得至关重要。于 然而,压力传感器的优越性,能够战胜易弯曲性这个弱点,所以会在顶层再加一层性能稳定的氮化硅。
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